半导体行业制造废水中的过滤应用_上海奕卿过滤科技

上海奕卿过滤科技有限公司

上海奕卿过滤科技有限公司

您的当前位置:芯式过滤机 > 新闻动态 > 上海奕卿过滤科技有限公司

推荐产品

半导体行业制造废水中的过滤应用

发布日期：2020-11-20 22:51

半导体生产废水排放量大，废水污染物种类多，成份复杂，通常都包括多种重金属废水和有机废水，处理难度较大。为了保证半导体生产废水的处理效果，须按照污染物的不同将废水分类收集，针对每一类废水的主要污染物的特点，分别进行处理，可达到理想的处理效果。同时，采用先进的废水回用处理技术，保证废水回用处理系统的稳定性和经济性 。
清洗工艺及废水来源
工艺 清洁源 容器 清洁效果
剥离光刻胶 氧等离子体 平板反应器 刻蚀胶
去聚合物 硫酸:水=6:1 溶液槽 除去有机物
去自然氧化层 氟化氢:水<1:50 溶液槽 产生无氧表面
旋转甩干 氮气 甩干机 无任残留物
RCA1#(碱性) 氢氧化铵:过氧化氢:水=1:1:1.5 溶液槽 除去表面颗粒
RCA2#(碱性) 氯化氢:过氧化氢:水=1：1：5 溶液槽 除去重金属粒子
DI清洗 去离子水 溶液槽 除去清洗溶剂
 
问题描述
1.产生废水量大；
2.废水成份复杂，含有各种过渡性质的金属如硅、锗等，同时含有较高含量的氟；
3.废水中含有难以处理的较高浓度的 COD。
 
相关资料：
半导体废水中挥发性有机物的去除方法；
半导体工厂废水氨氮处理的运行控制和工艺优化；
半导体工业废水污染特征因子初探；
半导体工业废水中除砷的研究；
半导体含硅废水形成动态膜的影响因素研究；
半导体生产废水处理及回用技术介绍；
铋系半导体材料制备及水污染治理研究进展；
微电解处理半导体含铜废水研究；
吹脱法处理高浓度氨氮废水试验研究 ；
三星半导体公司闪存芯片生产废水处理工程；
300 mm半导体厂含Cu废水处理工程应用；
相关设备：
精密过滤器   微孔过滤机   袋式过滤器   叠片过滤器   压滤机   机械过滤器   自清洗过滤器
技术支持：
如何选择过滤设备—工况调查表
常见流体的粘度；
常见颗粒物的大小及设备选型参考；
常见流体化学适应性表；
选择过滤精度时微米和目数的关系；
常见管道尺寸对照表；
如何挑选合适的过滤袋-过滤芯；
过滤机理和形式；
过滤行业中的常用术语；
过滤行业常见的单位换算；
过滤的种类及模式；
过滤行业中的一些名词定义；
常见颗粒物粒径大小；
常用压滤机滤布分类；
过滤机理；
几种过滤方法能耗分析；
几种金属颗粒和化合物粒径分布；
颗粒尺寸和对应的过滤分离方式;
 
 

上一篇：关于三星半导体公司闪存芯片生产废水处理工程
下一篇：关于国外半导体工业用超纯气体

生产厂址：上海市奉贤区青村镇浦星公路6995弄    总机电话：021-5756-5155    阿里店铺：yqglkj.1688.com

技术支持：黄学龙   138-1833-5541   173-2106-7706   QQ：210675207

© Copyright 2019   上海奕卿过滤科技有限公司 版权所有    备案号：沪ICP备17024532号